价 格
订货量
面议
价格为商家提供的参考价，请通过"获取最低报价"
获得您最满意的心理价位~
不限
| 产品特性：主动隔振 | 品牌：TMC | 型号：STACIS 4 |
| 工作台类型：隔振 | 材质：刚 | 外形尺寸：300 x 320 x 275mm |
| 适用范围：光刻机，计量仪和检测设备 | 样品或现货：样品 | 是否标准件：是 |
| 是否库存：否 | 是否批发：是 | 规格：套 |
| 主动减振自由度：6 | 主动减振频段：0.2 Hz - 150 Hz | 被动固有频率：18 Hz 垂直和水平 |
| 在1 Hz的减振：85% - 96% | ≥2 Hz的减振：≥*** |
概述
STACIS?4是进的商用主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与***的压电作动器。STACIS 可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球***半导体制造商中的九家所使用。
起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。
STACIS 4包括***改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的***的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。
STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了***的控制算法和新的***技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense?***技术相结合时，STACIS 4在2hz时可减少40 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少xx。下面包括STACIS 4的完整性能规格。
STACIS 4的优点：
由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS 没有一般气垫式减振器所面临的稳定性与过大位移的缺陷。与气垫式减振器不同的是，STACIS能很好地与设备内部已有的气垫减振系统兼容，使得两个系统各自发挥功效，优化减振效果。
STACIS系统使用独特的串联式设计与高压压电技术，能在0.35赫兹到150赫兹的宽频内有效提供主动消振，并且在2赫兹以上消减95%的振动。
比STACIS III更好的振动控制
与行业标准解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了40 dB以上。
稳定的串联设计允许使得您安装后即可忘记它，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。
STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少4个VC等级的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
